فرزکاری میکرو

تغییر شکل میکرو

نامحدود

مستطیل، دایره، مثلثی، ذوزنقه

مستطیل

مستطیل

هندسه

فلز و شیشه

فلز و سیلیکون و شیشه

فلز و سیلیکون

فلز و غیرفلز

ماده

ابعاد نانومتر و میلی­متر

ابعاد نانومتر و میلی­متر

۰٫۱-۱۰ mm

۲۵۰ کانال بر اینچ

ابعاد کانال

تولید پایین

تولید پایین

نسبت ابعاد بالا و یا پایین، ارزان، سریع

هزینه کم و سریع

مزایا

بسیار گران

پروسه کند (۱ روز)

طراحی­های پیچیده غیرممکن

بعضی از مواد نیازمند ترمیم­اند

معایب

۱-۴-۶-۱ فناوری متداول
۱-۴-۶-۱-۱ تغییر شکل میکرو[۱۹]
همان‌طور که در جدول ۱-۱ نشان داده، روش تغییر شکل میکرو می‌توان کانال‌های مستطیل شکل با هر ماده­ای ساخت. در گزارشی که توسط کوکوسکی[۲۰] [۹] در سال ۲۰۰۳ داده شده است، با فرایند تغییر شکل میکرو می‌توان تا ۵۰۰ کانال در هر اینچ تشکیل داد. در این زمان، برای میکروکانال­ها تا ۲۵۰ کانال در هر اینچ به‌طورمعمول در طیف گسترده‌ای از مواد تشکیل شده است. کانال‌ها در یک پاس پیوسته و یا با عبور از چند برش بسته به سیستم، مورد استفاده قرار می­گیرند. مزایای استفاده از تکنولوژی تغییر شکل میکرو شامل هزینه پایین و سرعت بالاست. بااین‌حال، با توجه به میزان کرنش و سختی مواد، برخی از مواد پردازش‌شده پس از پردازش تغییر شکل میکرو ممکن است نیاز به عملیات اضافی داشته باشد.

( اینجا فقط تکه ای از متن پایان نامه درج شده است. برای خرید متن کامل فایل پایان نامه با فرمت ورد می توانید به سایت feko.ir مراجعه نمایید و کلمه کلیدی مورد نظرتان را جستجو نمایید. )

اصول کار تکنولوژی تغییر شکل میکرو ساده است. با بهره گرفتن از ابزار و زاویه مشخص با قطعه کار، روند شکل­پذیری و تغییر شکل پلاستیک مواد انعطاف‌پذیر انجام می­ شود. حرکت ابزار مواد پایه و وابستگی به تنظیمات هندسی ابزار، تغییر شکل پلاستیک مواد که به شکل قابل تکرار تعریف‌شده است فقط یک ابزار برای هر یک از تنظیمات مورد­نظر، موردنیاز است.
۱-۴-۶-۱-۲ اره کردن میکرو[۲۱] (برش‌کاری میکرو)
روش برش‌کاری میکرو به‌طور گسترده در صنعت استفاده می‌شود که می‌توان کانال مستطیلی از فلز یا سیلیکون با عرض در محدوده ۱۰-۰٫۱ میلی‌متر ساخت است. با این تکنولوژی می‌توان میکروکانال­های با نسبت­های بالا و یا نسبت­های پایین ساخت. این روش بسیار سریع است و پایین‌ترین هزینه تولید را در میان‌ همه فن‌آوری‌های میکروساخت دارد. این تکنولوژی از یک اره منبت‌کاری[۲۲] برای ساخت میکروکانال­های مستطیلی استفاده می­ کند.
۱-۴-۶-۲ تکنولوژی مدرن
۱-۴-۶-۲-۱ MEMS (سیستم میکرو الکترومکانیک)
بسیاری از پژوهش­های حاضر در زمینه MEMS در گروه روش‌های ساخت مقیاس میکرو، از بخش نیمه‌هادی برخاسته است. بسیاری از تکنولوژی­ها، شامل روش‌های MEMS هستند: حکاکی مرطوب، حکاکی خشک،[۲۳]LIGA و حکاکی یون واکنش‌های عمیق (DRIE)[24]. در این بخش در بین فناوری‌های MEMS بر روی فن‌آوری DRIE که به‌طور گسترده استفاده می‌شود تمرکز خواهیم کرد. همان‌طور که در جدول ۲-۱ نشان داده شده است، کانال‌های مستطیل، دایره، مثلث و یا ذوزنقه را با بهره گرفتن از روش DRIE می‌توان ساخت. این تکنولوژی با فلز، سیلیکون و شیشه با طیف گسترده‌ای از اندازه کانال، از مقیاس نانومتر تا مقیاس میلی‌متر قابل‌اجرا است. علاوه بر این، این فن‌آوری دارای مزیت تولید کم است. بااین‌حال، فن‌آوری DRIE برای استفاده در زمینه‌های صنعتی به دلیل فرایند زمان‌بر بودن آن مناسب نیستند.

موضوعات: بدون موضوع  لینک ثابت


فرم در حال بارگذاری ...